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激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。


名稱:激光干涉儀
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SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氨氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。


SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

1、精度高

(1)采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)的激光波長(zhǎng)輸出;

(2)采用高精度環(huán)境補(bǔ)償單元,可實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)和材料的手動(dòng)或自動(dòng)補(bǔ)償;

(3)干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,確保干涉光路穩(wěn)定可靠。

2、功能廣

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參量的精密測(cè)量;

(2)配合WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),可實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸的角度測(cè)量與校準(zhǔn);

(3)適用于測(cè)量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等:

(4)可根據(jù)檢測(cè)程序自動(dòng)生成數(shù)控機(jī)床的運(yùn)行程序;

(5)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

3、軟件強(qiáng)

(1)友好的人機(jī)界面,向?qū)降牟僮髁鞒?

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊,強(qiáng)大的分析功能模塊;

(3)簡(jiǎn)潔化的記錄管理,且支持企業(yè)專屬模板定制;

(4)支持中文簡(jiǎn)體、中文繁體、英文、韓文和俄文界面,

4、標(biāo)準(zhǔn)多

內(nèi)置14份標(biāo)準(zhǔn),包含GB、IS0、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。


線程測(cè)量基本配置


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功能模塊

線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)

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經(jīng)典應(yīng)用案例


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